如图所示为振动测试电路。该测试电路由加速度计TA-25、集成运算放大器741(IC1、IC3、IC5、IC7)、场效应管输入的低漂移运算放大器等组成。其应用于周期性加速检测。由加速计TA-25输出的信号经过集成电路IC1(741)的低通
大多数专家预测MEMS技术在今后的主要发展趋势综合如下:(1)研究方向多样化:从历次大型MEMS国际会议(Transducer和MEMSWorldshop)的论文来看,MEMS技术的研究日益多样化。MEMS技术涉及的领域主要包括惯性器件如加速度
基于DSP的温度控制系统以高速DSP为核心,辅以相应的外围电路,可以实现复杂的控制,目前已用于某导航测试系统中。
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美国模拟器件公司(ADI)日前发布了3轴运动检测微机电系统(MEMS)技术。该3轴iMEMS(集成MEMS)Motion Signal Processing技术能将包含薄的、鲁棒性运动传感器和先进的信号调理电路的非常小的低功耗3轴(XYZ)加速度计集成在
在国家科技部“863”项目“微机电系统”重大专项的支持下,中国科学院微系统所与南京石油物探研究所紧密合作,经过将近两年的努力,克服重重困难,研制成功以国产MEMS加速度计为核心的石油勘探地震检波器。试验人员把