套刻误差

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晶圆套刻误差为何越叠越大？抗反射膜为何先吃掉景深？

晶圆制造里最容易被低估的损失，往往不是某一次曝光没打准，而是成像窗口被前后段工艺一点点吃掉。对准误差累积和抗反射膜窗口收窄这两条链，常常同时把线宽与套刻推向失稳。

工业控制
2026-04-07

晶圆晶圆制造套刻误差